Bilgi Paketi / Ders Kataloğu
Mikronano Elektromekanik Sistemlere Mems Nems'egiriş
Ders Kodu: ME429
Ders Türü: Bölüm Seçmeli
Ders Grubu: Lisans
Eğitim Dili: İngilizce
Staj Durumu: Yok
Teori: 3
Uyg.: 0
Kredi: 3
Laboratuvar: 0
AKTS: 5
Amaç

Bu dersin amacı, öğrencilere, sıklıkla MEMS/NEMS (mikro/nano elektromekanik sistemler) olarak adlandırılan disiplinler arası bir alan olan mikro/nano mühendisliği keşfetmelerinde yardımcı olmaktır.

Özet İçerik

Ölçeklendirme yasaları, minyatürizasyonun avantajları ve dezavantajları, MEMS/NEMS fabrikasyon ve konstrüksiyonunun temelleri, ve MEMS/NEMS lerin değişik alanlarda uygulamaları konuları bu dersin kapsamında verilecektir.

Dersi Veren Öğretim Görevlisi/Görevlileri
Doç. Dr. Adem ÖZÇELİK
Öğrenme Çıktıları
1.1. Mikro ve nano boyutta sistemlerin fizik ve mekaniğini anlayabilme
2.2. MEMS/NEMS fabrikasyon aşamalarını kullanarak mikro ve nano cihazlar tasarlayabilme
3.3. MEMS/NEMS uygulamalrı için uygun malzemeler seçebilme ve bu malzemelerin özelliklerini anlayabilme
4.4. Nanoteknoloji ve nanofabrikasyonun temellerini ve MEMS/NEMS ve nanobilim arasındaki etkileşimleri anlayabilme
5.5. Sistematik olarak MEMS/NEMS dizayn yaklaşımlarını mühendislik problemlere uygulayabilme ve güçlü bir araştırma dizayn becerisine sahip olabilme.
Ders Kitabı / Malzemesi / Önerilen Kaynaklar
1.1. Marc J. Madou, From MEMS to Bio-MEMS and Bio-NEMS: Manufacturing Techniques and Applications, 3rd Edition, CRC Press, 2011.
2.2. Marc J. Madou, Fundamentals of Microfabrication: The Science of Miniaturization, 2nd Edition, CRC Press, 2002.
3.3. Liu, C. Foundations of MEMS, Pearson Education: New Jersey, 2006.
Haftalık Ayrıntılı Ders İçeriği
1. Hafta - Teorik
Minyatürizasyonun sanatı, bilimi ve mühendisliği
2. Hafta - Teorik
MEMS/NEMS malzeme seçimi ve bu malzemelerin özellikleri
3. Hafta - Teorik
Mikro and nanofabrikasyon: Litografi
4. Hafta - Teorik
Mikro and nanofabrikasyon: Aşındırma
5. Hafta - Teorik
Mikro and nanofabrikasyon: Biriktirme
6. Hafta - Teorik
Yumuşak litografi
7. Hafta - Teorik
Ölçeklendirme yasaları
8. Hafta - Ara Sınav (Vize)
Ölçeklendirme yasaları, Ara sınav
9. Hafta - Teorik
MEMS/NEMS için temel matematiksek ifadeler
10. Hafta - Teorik
Akustofluidik ve mikroakışkan tabanlı MEMS/NEMS
11. Hafta - Teorik
Elektirik/Dielektirik tabanlı MEMS/NEMS
12. Hafta - Teorik
Maynetik ve optik tabanlı MEMS/NEMS
13. Hafta - Teorik
MEMS/NEMS tabanlı sensörler
14. Hafta - Teorik
MEMS/NEMS tabanlı eyleyiciler, MEMS/NEMS’ in biyolojik uygulamaları
15. Hafta - Dönem Sonu Sınavı (Final)
Dönem Sonu Sınavı
16. Hafta - Dönem Sonu Sınavı (Final)
Dönem Sonu Sınavı
Değerlendirme
Değerlendirme TürüAdetYüzde
Ara Sınav (Vize)1%20
Dönem Sonu Sınavı (Final)1%50
Ödev3%10
Proje1%20
İş Yükü Hesaplaması
EtkinlikSayısıÖn HazırlıkSüreToplam Iş Yükü (Saat)
Kuramsal Ders141356
Ödev35015
Proje110010
Okuma141014
Ara Sınav19110
Dönem Sonu Sınavı118220
TOPLAM İŞ YÜKÜ (Saat)125
Program ve Öğrenme Çıktıları İlişkisi
PÇ-1
PÇ-2
PÇ-3
PÇ-4
PÇ-5
PÇ-6
PÇ-7
PÇ-8
PÇ-9
PÇ-10
PÇ-11
PÇ-12
OÇ-1
5
4
3
4
3
5
5
4
3
3
2
5
OÇ-2
5
5
4
4
3
3
4
5
4
5
5
5
OÇ-3
4
5
3
4
3
5
5
5
4
5
4
4
OÇ-4
5
5
4
5
4
3
3
4
4
5
5
4
OÇ-5
4
5
4
3
3
3
4
3
4
5
3
4
Adnan Menderes Üniversitesi - Bilgi Paketi / Ders Kataloğu
2026