Bu dersin amacı, öğrencilere, sıklıkla MEMS/NEMS (mikro/nano elektromekanik sistemler) olarak adlandırılan disiplinler arası bir alan olan mikro/nano mühendisliği keşfetmelerinde yardımcı olmaktır.

Ölçeklendirme yasaları, minyatürizasyonun avantajları ve dezavantajları, MEMS/NEMS fabrikasyon ve konstrüksiyonunun temelleri, ve MEMS/NEMS lerin değişik alanlarda uygulamaları konuları bu dersin kapsamında verilecektir.