
| Ders Kodu | : EE473 |
| Ders Türü | : Seçmeli |
| Ders Grubu | : Lisans |
| Eğitim Dili | : İngilizce |
| Staj Durumu | : Yok |
| Teori | : 3 |
| Uyg. | : 0 |
| Kredi | : 3 |
| Laboratuvar | : 0 |
| AKTS | : 5 |
İnce film teknolojileri ve mühendislik uygulamalarının temellerinin öğrenilerek literatür araştırması ve sunumunun yapılması.
İnce film fiziğinin temelleri; ince filmlerin hazırlanması: buharlaştırma, saçılma, kimyasal gaz depositleme, elektrokimyasal depositleme; İnce filmlerin büyütülmesi, buharlaştırma oranları ve film kalınlıklarının ölçülmesi; ince filmlerin kimyasal analizleri, ince filmlerin mekaniksel, elektriksel ve optik özellikleri; mühendislik uygulamaları
| 1. | Vakum teknolojileri ve gaz kinetiğinin temellerini öğrenmek |
| 2. | İnce film üretim tekniklerinin temellerinin öğrenilmesi |
| 3. | İnce film buharlaştırma ve depozitleme tekniklerini öğrenme ve kullanabilme becerisi |
| 4. | İnce filmlerin mühendislik uygulamalarının öğrenilmesi |
| 5. | İnce filmlerin mekaniksel, elektriksel ve optik özelliklerinin ölçülmesinde kullanılan deneysel cihazları öğrenme ve kullanabilme becerisi |
| 1. | Donald Smith, 2007, “Thin-Film Deposition: Principles and Practice”, Prentice Hall |
| 2. | Ders notları ve internet yayınları |
| Değerlendirme Türü | Adet | Yüzde |
|---|---|---|
| Ödev | 1 | %5 |
| Proje | 1 | %5 |
| Ara Sınav (Vize) | 1 | %30 |
| Dönem Sonu Sınavı (Final) | 1 | %60 |
| Etkinlik | Sayısı | Ön Hazırlık | Süre | Toplam Iş Yükü (Saat) |
|---|---|---|---|---|
| Kuramsal Ders | 14 | 1 | 3 | 56 |
| Ödev | 1 | 1 | 1 | 2 |
| Proje | 1 | 1 | 1 | 2 |
| Bireysel Çalışma | 14 | 3 | 0 | 42 |
| Ara Sınav | 1 | 5 | 2 | 7 |
| Dönem Sonu Sınavı | 1 | 13 | 3 | 16 |
| TOPLAM İŞ YÜKÜ (Saat) | 125 | |||
PÇ-1 | PÇ-2 | PÇ-3 | PÇ-4 | PÇ-5 | PÇ-6 | PÇ-7 | PÇ-8 | PÇ-9 | PÇ-10 | PÇ-11 | |
OÇ-1 | 3 | 1 | 1 | 1 | 3 | 3 | |||||
OÇ-2 | 3 | 1 | 1 | 1 | |||||||
OÇ-3 | 3 | 2 | 1 | 3 | |||||||
OÇ-4 | 1 | 1 | 1 | 3 | 2 | ||||||
OÇ-5 | 1 | 1 | 2 | ||||||||