Bilgi Paketi / Ders Kataloğu
İnce Film Teknolojileri ve Mühendislik Uygulamaları
Ders Kodu: EE473
Ders Türü: Seçmeli
Ders Grubu: Lisans
Eğitim Dili: İngilizce
Staj Durumu: Yok
Teori: 3
Uyg.: 0
Kredi: 3
Laboratuvar: 0
AKTS: 5
Amaç

İnce film teknolojileri ve mühendislik uygulamalarının temellerinin öğrenilerek literatür araştırması ve sunumunun yapılması.

Özet İçerik

İnce film fiziğinin temelleri; ince filmlerin hazırlanması: buharlaştırma, saçılma, kimyasal gaz depositleme, elektrokimyasal depositleme; İnce filmlerin büyütülmesi, buharlaştırma oranları ve film kalınlıklarının ölçülmesi; ince filmlerin kimyasal analizleri, ince filmlerin mekaniksel, elektriksel ve optik özellikleri; mühendislik uygulamaları

Dersi Veren Öğretim Görevlisi/Görevlileri
Öğrenme Çıktıları
1.Vakum teknolojileri ve gaz kinetiğinin temellerini öğrenmek
2.İnce film üretim tekniklerinin temellerinin öğrenilmesi
3.İnce film buharlaştırma ve depozitleme tekniklerini öğrenme ve kullanabilme becerisi
4.İnce filmlerin mühendislik uygulamalarının öğrenilmesi
5.İnce filmlerin mekaniksel, elektriksel ve optik özelliklerinin ölçülmesinde kullanılan deneysel cihazları öğrenme ve kullanabilme becerisi
Ders Kitabı / Malzemesi / Önerilen Kaynaklar
1.Donald Smith, 2007, “Thin-Film Deposition: Principles and Practice”, Prentice Hall
2.Ders notları ve internet yayınları
Haftalık Ayrıntılı Ders İçeriği
1. Hafta - Teorik
İnce film teknolojilerine giriş
2. Hafta - Teorik
Vakum teknolojilerine giriş, gaz kinetiği ve ilgili matematiksel modeller
3. Hafta - Teorik
İnce Film büyütme tekniklerine giriş, araştırma konularının belirlenmesi
4. Hafta - Teorik
İnce filmlerin hazırlanması, fiziksel buhar Depositleme
5. Hafta - Teorik
Termal ve e-beam buharlaştırma
6. Hafta - Teorik
Saçtırma tekniği
7. Hafta - Teorik
Kimyasal gaz depositleme,
8. Hafta - Teorik
Elektrokimyasal depositleme
9. Hafta - Teorik
Darbeli lazer depositleme
10. Hafta - Teorik
İnce filmlerin büyütülmesi, ve film kalınlıklarının ölçülmesi.
11. Hafta - Teorik
İnce filmlerin kimyasal analizleri
12. Hafta - Teorik
İnce filmlerin mühendislik uygulamaları
13. Hafta - Teorik
Ödev konularının sunumları
14. Hafta - Teorik
Ödev konularının sunumları
Değerlendirme
Değerlendirme TürüAdetYüzde
Ödev1%5
Proje1%5
Ara Sınav (Vize)1%30
Dönem Sonu Sınavı (Final)1%60
İş Yükü Hesaplaması
EtkinlikSayısıÖn HazırlıkSüreToplam Iş Yükü (Saat)
Kuramsal Ders141356
Ödev1112
Proje1112
Bireysel Çalışma143042
Ara Sınav1527
Dönem Sonu Sınavı113316
TOPLAM İŞ YÜKÜ (Saat)125
Program ve Öğrenme Çıktıları İlişkisi
PÇ-1
PÇ-2
PÇ-3
PÇ-4
PÇ-5
PÇ-6
PÇ-7
PÇ-8
PÇ-9
PÇ-10
PÇ-11
OÇ-1
3
1
1
1
3
3
OÇ-2
3
1
1
1
OÇ-3
3
2
1
3
OÇ-4
1
1
1
3
2
OÇ-5
1
1
2
Adnan Menderes Üniversitesi - Bilgi Paketi / Ders Kataloğu
2026