
| Ders Kodu | : FZK518 |
| Ders Türü | : Bölüm Seçmeli |
| Ders Grubu | : Yüksek Lisans |
| Eğitim Dili | : Türkçe |
| Staj Durumu | : |
| Teori | : 3 |
| Uyg. | : 0 |
| Kredi | : 3 |
| Laboratuvar | : 0 |
| AKTS | : 8 |
İnce filmlerin hazırlanma metotlarına ve karakterizasyon tekniklerine bir giriş yapmak.
Bu derste ele alınacak ana başlıklar; Vakumda buharlaştırma teknikleri, buhar moleküllerinin ortalama serbest yolu, ısısal buharlaştırma yöntemleri; rezistif ısıtma, ani buharlaştırma, arkla buharlaştırma, laserle buharlaştırma, RF ısıtma, elektron bombardımanıyla ısıtma, buhar kaynaklarının emisyon karakteristikleri ve film kalınlık dağılımı, vakumda kaplama cihazları; vakum conta ve muslukları, vakum pompaları, vakum ölçerler, vakumda buharlaştırma kaynakları; flamanlar ve potalar, taşıyıcı malzemeleri ve temizlenmeleri, ince filmlerde çekirdekleşme, büyüme ve yapısal özellikler, püskürtme teknikleri; magnetron, iyon demeti ve AC püskürtme, kimyasal büyütme teknikleri, diğer büyütme teknikleri, film kalınlığını ölçme teknikleri ve cihazları .