Bilgi Paketi / Ders Kataloğu
İnce Filim Teknolojisi
Ders Kodu: FZK518
Ders Türü: Bölüm Seçmeli
Ders Grubu: Yüksek Lisans
Eğitim Dili: Türkçe
Staj Durumu
Teori: 3
Uyg.: 0
Kredi: 3
Laboratuvar: 0
AKTS: 8
Amaç

İnce filmlerin hazırlanma metotlarına ve karakterizasyon tekniklerine bir giriş yapmak.

Özet İçerik

Bu derste ele alınacak ana başlıklar; Vakumda buharlaştırma teknikleri, buhar moleküllerinin ortalama serbest yolu, ısısal buharlaştırma yöntemleri; rezistif ısıtma, ani buharlaştırma, arkla buharlaştırma, laserle buharlaştırma, RF ısıtma, elektron bombardımanıyla ısıtma, buhar kaynaklarının emisyon karakteristikleri ve film kalınlık dağılımı, vakumda kaplama cihazları; vakum conta ve muslukları, vakum pompaları, vakum ölçerler, vakumda buharlaştırma kaynakları; flamanlar ve potalar, taşıyıcı malzemeleri ve temizlenmeleri, ince filmlerde çekirdekleşme, büyüme ve yapısal özellikler, püskürtme teknikleri; magnetron, iyon demeti ve AC püskürtme, kimyasal büyütme teknikleri, diğer büyütme teknikleri, film kalınlığını ölçme teknikleri ve cihazları .

Dersi Veren Öğretim Görevlisi/Görevlileri