Bilgi Paketi / Ders Kataloğu
| Ders Kodu | : FZK518 |
| Ders Türü | : Seçmeli |
| Ders Grubu | : Yüksek Lisans |
| Eğitim Dili | : Türkçe |
| Staj Durumu | : Yok |
| Teori | : 3 |
| Uyg. | : 0 |
| Kredi | : 3 |
| Laboratuvar | : 0 |
| AKTS | : 6 |
İnce filmlerin hazırlanma metotlarına ve karakterizasyon tekniklerine bir giriş yapmak.
Bu derste ele alınacak ana başlıklar; Vakumda buharlaştırma teknikleri, buhar moleküllerinin ortalama serbest yolu, ısısal buharlaştırma yöntemleri; rezistif ısıtma, ani buharlaştırma, arkla buharlaştırma, laserle buharlaştırma, RF ısıtma, elektron bombardımanıyla ısıtma, buhar kaynaklarının emisyon karakteristikleri ve film kalınlık dağılımı, vakumda kaplama cihazları; vakum conta ve muslukları, vakum pompaları, vakum ölçerler, vakumda buharlaştırma kaynakları; flamanlar ve potalar, taşıyıcı malzemeleri ve temizlenmeleri, ince filmlerde çekirdekleşme, büyüme ve yapısal özellikler, püskürtme teknikleri; magnetron, iyon demeti ve AC püskürtme, kimyasal büyütme teknikleri, diğer büyütme teknikleri, film kalınlığını ölçme teknikleri ve cihazları .
| 1. | İnce filmlerin büyüme esasını ve malzeme parametrelerini tanımlayabilme |
| 2. | Çeşitli malzemelerin farklı büyütme ve sentezleme metodlarını tanıyabilme ve bu metodları temel fizik prensipleriyle ilşkilendirebilme |
| 3. | Filmlerin kalınlık değerlerine göre uygulama alanlarını belirleyebilme |
| 4. | Vakum pompalarına ve vakum sistemlerine örnekler verebilme |
| 5. | Filmlerin yapısal, elektriksel ve optik karakterizasyonunda kullanılacak teknikleri tanıyabilme |
| 1. | İnce Filmlerin hazırlanması, Joy George, Marcel Dekker, Inc., New York, 1992 |
| 2. | İnce filmlerin Vakum depozisyonu, L. Holland, Chapman&Hall Ltd., London, 1961 |
| 3. | İnce Film Teknolojisi F. C. Matacotta and G. Ottaviani, World Scientific Publishing Co.Pte. Lte., London, 1995 |
| 4. | İnce film fenomeni, K. L. Chopra, McGraw-Hill, New York, 1969 |
| Değerlendirme Türü | Adet | Yüzde |
|---|---|---|
| Ara Sınav (Vize) | 1 | %30 |
| Dönem Sonu Sınavı (Final) | 1 | %70 |
| Etkinlik | Sayısı | Ön Hazırlık | Süre | Toplam Iş Yükü (Saat) |
|---|---|---|---|---|
| Kuramsal Ders | 14 | 6 | 3 | 126 |
| Ara Sınav | 1 | 9 | 3 | 12 |
| Dönem Sonu Sınavı | 1 | 9 | 3 | 12 |
| TOPLAM İŞ YÜKÜ (Saat) | 150 | |||
PÇ-1 | PÇ-2 | PÇ-3 | PÇ-4 | PÇ-5 | PÇ-6 | PÇ-7 | PÇ-8 | |
OÇ-1 | 5 | 5 | 4 | 5 | 5 | 4 | 3 | 5 |
OÇ-2 | 2 | 4 | 1 | 4 | 4 | 3 | 3 | 5 |
OÇ-3 | 2 | 3 | 1 | 4 | 5 | 4 | 5 | 5 |
OÇ-4 | 5 | 4 | 3 | 5 | 4 | 3 | 1 | 5 |
OÇ-5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | |